2025년 4월 25일, 예스티(122640)가 HPSP(403870)의 고압어닐링 장비 잠금장치 특허(등록번호 1553027)에 대한 소극적 권리범위확인심판에서 승소했다고 발표하며 시장의 주목을 받았다. 특허심판원은 예스티가 제기한 2건의 소극적 권리범위확인심판을 인용, 예스티의 잠금장치 구조(외부회전체결링 없는 단일 도어 및 외부도어 회전 방식)가 HPSP의 특허와 다르다고 판단했다. 이는 예스티가 고압어닐링 장비로 반도체 시장 진출에 법적 걸림돌을 제거한 결정적 승리로 평가된다.고압어닐링 장비는 반도체 미세공정에서 웨이퍼와 절연막 간 계면 결함을 고압 수소로 제거해 트랜지스터 성능을 향상시키는 핵심 장비다. HPSP는 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 이 장비를 독점 공급하며 시장을 ..
